步进式投影光刻机-苏州海思微电子科技有限公司

苏州海思微电子科技有限公司是专业从事步进式投影光刻机、全自动光刻机 (Mask Aligner) 研发、制造与销售，在2018年开始销售第一台量产型全自动光刻机，累计超过70台装机量并平稳运行。 海思掩模对准可容纳 300 mm 产品，兼容不容形状和厚度的晶圆和基片，应用于MEMS，集成电路、混合模块、化合物半导体、光电模块、3D封装，光学器件、功率器件，微纳米加工等各个领域。